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H116 半导体显微镜专用电动平台
ProScan System With Large Format Motorized Wafer Stage for Semiconductor Microscopes
  • 适用于大多数知名的显微镜厂牌
  • 解析精度小于 1 µm
  • 控制器支援RS-232和USB连线，相容大多数第三方软体
  • 移动行程范围为 255 mm x 215 mm (10" x 8.5")
  • 各式晶圆专用置具(Wafer Holder)供您选用

Prior电动台系列产品可提供最长五年的原厂保固 (请来电洽询)
产品说明

H116显微镜电动平台适用于各种半导体材料如晶圆(Wafer)、光罩(Photo Mask)、平面显示器(FPD, Flat Panel Displays)与印刷电路板(PCB, Printed Circuit Board)等大型样品的定位(Mapping)、检查(Inspection)与瑕疪检测(Defect Detection)等高阶半导体材料的座标跑位、定位与扫瞄应用。

此外，H116显微镜电动平台可轻松满足8英寸（200毫米）晶圆的移动行程需求，并可进一步整合机器人手臂(Robot Arm)与晶圆装载机(Wafer Loaders)达成晶圆自动化取放片的工作目标。

通过将电动平台整合到ProScan™系统中，使用者可以获得功能强大、精确和多功能的显微镜自动化控制系统，该系统还以可将各种不同的显微镜、影像分析软体或其他显微镜周边电控配件进行整合。
产品规格
Performance 注1 H116/2 HE16/2
单向重覆性精度 Uni Directional Repeatability 注2
in µm		 ± 0.7 ± 0.7
最小寸动精度 Minimum Step Size
in µm		 0.04 0.01
建议速度 Suggested Speed (mm/s)  40
 40
最大行程范围 Maximum Travel Range (mm) 255 x 215 255 x 215
最大载重 Load Capacity (Kg) 25 25
载台重量 Weight (Kg) 7.7 7.7
滚珠螺杆螺距 Ball Screw Pitch (mm) 2 2
Motor Type SPR 注5 200 200
Encoder NO YES 注6

备注：

  1. Specifications are based on the Prior method of testing and require the use of a ProScan II or above controller.
  2. Using a ProScan controller with backlash correction enabled.
  3. Measured over the full travel of the stage with IST enabled.
  4. Can be increased by a factor of 2.
  5. Steps Per Revolution of Motor.
  6. 0.1 µm res encoding provided.
产品尺寸
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