H116SPN 半导体显微镜专用电动平台
|
|||||||||||||||||||||
|
|||||||||||||||||||||
产品说明 | |||||||||||||||||||||
Prior H116SPN 电动平台提供Wafer Shuttle行程控制,采电动穿梭式(Motorised Shuttle)设计,用于整合Nikon或Olympus晶圆装卸系统(Wafer Handler System)进行晶圆检测应用,可大幅减少操作员的连续操作疲劳和可能造成的定位误差,同时提高了晶圆检查的效率。 H116SPN 电动载台在与Wafer Loader进行自动加载和卸载晶圆(Loads and Unloads Wafers)的操作时,Wafer Shuttle会自动移动到正确的晶圆装载位置并触发装载器(Loader)开关,同时通知装载器在Shuttle上的Wafer Chuck已经到达指定位置并准备好接收晶圆,待晶圆从Wafer Loader转移到Wafer Shuttle后,Wafer Chuck上的真空感应器会确认晶圆是否已放置妥当,确认没问题后Shuttle会立即移动到预设原点位置,等待下一步的控制指令。 电动平台允许使用者以摇杆直接控制载台移动进行手动检查操作,或者使用程式控制的模式进行全自动检查,H116SPN电动平台拥有较大的行程范围,再加上准确的重复精度和定位精度,搭配 Prior 的 ProScan®III系统使用,更可确保载台的精度、准度都达到最小误差,最终实现更有效的晶圆检测流程。
|
|||||||||||||||||||||
产品规格 | |||||||||||||||||||||
|
|||||||||||||||||||||
产品尺寸 | |||||||||||||||||||||
![]() |
|||||||||||||||||||||
产品资源 | |||||||||||||||||||||