H105F电动平台采平顶式(Flat Top)设计为ProScan®高精度电动平台系列产品的家族成员,适用于正立显微镜(Upright Microscopes)光学系统的观察与座标定位需求,此外H105F电动载台拥有较大的移动行程和定位精度并提供各种可置换的样品置具,可满足半导体晶圆(Semi-Conductor Wafer)、光罩(Photo Mask)与印刷电路板(PCB, Printed Circuit Board)等大型样品对于晶圆定位(Wafer Mapping)、目视检查(Visual Inspection)与瑕疪检测(Defect Detection)等高阶的半导体材料科学应用。
平顶式的电动平台扩大了载台上方的使用空间并减少光学组件设置的阻碍,轻松整合高N/A值物镜(Objective)或聚光镜(Condenser)等光学组件进行高倍率的显微观察,让显微镜上的鼻轮组可以轻松的360度旋转切换观察物镜并且避免碰撞的危险,安全的切换观察物镜和调整显微镜对焦高度,提供显微镜自动化整合更精确和便捷的强大组合利器。
通过将电动平台整合到ProScan™系统中,使用者可以获得功能强大、精确和多功能的显微镜自动化控制系统,该系统还以可将各种不同的显微镜、影像分析软体或其他显微镜周边电控配件进行整合。
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