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Prior Scientific Instruments Ltd. 產品服務專線：04-27080265

H112 半導體顯微鏡專用電動平台
ProScan System With Large Format Motorized Wafer Stage for Semiconductor Microscopes
  • 適用於大多數知名的顯微鏡廠牌
  • 解析精度小於 1 µm
  • 控制器支援RS-232和USB連線，相容大多數第三方軟體
  • 可選配0.1µm高精度線性光學尺(Linear Scales)
  • 移動行程範圍為 302 mm x 302 mm (12" x 12")
  • 各式晶圓專用置具(Wafer Holder)供您選用

Prior電動台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)

H112 產品說明

H112顯微鏡電動平台適用於各種半導體材料如晶圓(Wafer)、光罩(Photo Mask)、平面顯示器(FPD, Flat Panel Displays)與印刷電路板(PCB, Printed Circuit Board)等大型樣品的定位(Mapping)、檢查(Inspection)與瑕疪檢測(Defect Detection)等高階半導體材料的座標跑位、定位與掃瞄應用。

此外，H112顯微鏡電動平台可輕鬆滿足12英寸（300毫米）晶圓的移動行程需求，並可進一步整合機器人手臂(Robot Arm)與晶圓裝載機(Wafer Loaders)達成晶圓自動化取放片的工作目標，對於某些較特殊玻璃基板或NIR檢查需要使用底部(透射)光路進行穿透光檢查的光學檢測應用，晶圓專用的電動載台在中間區域提供了250 mm x 250 mm透射光開口區域，可滿足光學檢查上透射光應用需求。

通過將電動平台整合到ProScan™系統中，使用者可以獲得功能強大、精確和多功能的顯微鏡自動化控制系統，該系統還以可將各種不同的顯微鏡、影像分析軟體或其他顯微鏡周邊電控配件進行整合。

 

H112 產品規格
Performance 註1 H112/2 HE12/2
單向重覆性精度 Uni Directional Repeatability 註2
in µm		 ± 0.7 ± 0.7
最小寸動精度 Minimum Step Size
in µm		 0.04 0.01
建議速度 Suggested Speed (mm/s)  40 40
最大行程範圍 Maximum Travel Range (mm) 302 x 302 302 x 302
最大載重 Load Capacity (Kg) 25 25
載台重量 Weight (Kg) 14.5 14.5
滾珠螺桿螺距 Ball Screw Pitch (mm) 2 2
Motor Type SPR 註5 200 200
Encoder NO YES 註6

備註：

  1. Specifications are based on the Prior method of testing and require the use of a ProScan II or above controller.
  2. Using a ProScan controller with backlash correction enabled.
  3. Measured over the full travel of the stage with IST enabled.
  4. Can be increased by a factor of 2.
  5. Steps Per Revolution of Motor.
  6. 0.1 µm res encoding provided.

 

H112 產品尺寸

 

H112 產品資源

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