H112 半導體顯微鏡專用電動平台
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H112 產品說明 |
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H112顯微鏡電動平台適用於各種半導體材料如晶圓(Wafer)、光罩(Photo Mask)、平面顯示器(FPD, Flat Panel Displays)與印刷電路板(PCB, Printed Circuit Board)等大型樣品的定位(Mapping)、檢查(Inspection)與瑕疪檢測(Defect Detection)等高階半導體材料的座標跑位、定位與掃瞄應用。 此外,H112顯微鏡電動平台可輕鬆滿足12英寸(300毫米)晶圓的移動行程需求,並可進一步整合機器人手臂(Robot Arm)與晶圓裝載機(Wafer Loaders)達成晶圓自動化取放片的工作目標,對於某些較特殊玻璃基板或NIR檢查需要使用底部(透射)光路進行穿透光檢查的光學檢測應用,晶圓專用的電動載台在中間區域提供了250 mm x 250 mm透射光開口區域,可滿足光學檢查上透射光應用需求。 通過將電動平台整合到ProScan™系統中,使用者可以獲得功能強大、精確和多功能的顯微鏡自動化控制系統,該系統還以可將各種不同的顯微鏡、影像分析軟體或其他顯微鏡周邊電控配件進行整合。
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H112 產品規格 |
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H112 產品尺寸 |
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H112 產品資源 |
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