H116SPN 半導體顯微鏡專用電動平台
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H116SPN 產品說明 |
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Prior H116SPN 電動平台提供Wafer Shuttle行程控制,採電動穿梭式(Motorised Shuttle)設計,用於整合Nikon或Olympus晶圓裝卸系統(Wafer Handler System)進行晶圓檢測應用,可大幅減少操作員的連續操作疲勞和可能造成的定位誤差,同時提高了晶圓檢查的效率。 H116SPN 電動載台在與Wafer Loader進行自動加載和卸載晶圓(Loads and Unloads Wafers)的操作時,Wafer Shuttle會自動移動到正確的晶圓裝載位置並觸發裝載器(Loader)開關,同時通知裝載器在Shuttle上的Wafer Chuck已經到達指定位置並準備好接收晶圓,待晶圓從Wafer Loader轉移到Wafer Shuttle後,Wafer Chuck上的真空感應器會確認晶圓是否已放置妥當,確認沒問題後Shuttle會立即移動到預設原點位置,等待下一步的控制指令。 電動平台允許使用者以搖桿直接控制載台移動進行手動檢查操作,或者使用程式控制的模式進行全自動檢查,H116SPN電動平台擁有較大的行程範圍,再加上準確的重複精度和定位精度,搭配 Prior 的 ProScan®III系統使用,更可確保載台的精度、準度都達到最小誤差,最終實現更有效的晶圓檢測流程。
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H116SPN 產品規格 |
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H116SPN 產品尺寸 |
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H116SPN 產品資源 |
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